アルバック機工 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1台 [26003475]

アルバック機工 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1台 [26003475]

販売価格: 212,290(税込)

在庫数 13枚

商品詳細

特徴

■特徴

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。

複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。


■用途

広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ

クライオポンプ排気系のバックポンプ

メカニカルブースターポンプのバックポンプ

ロードロック室排気

吸着搬送、ハンドリング

レーザーガス循環・排気用

真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置


■仕様

異電圧対応可(お問い合せください)


■注意点

腐食性ガス・有機溶剤・液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。

また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。

屋内専用のポンプです。

雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。


仕様

重量 26.000KG 入数 1台
原産国 日本


DAU100

アルバック機工 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1台



【在庫数について】

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