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アルバック機工 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1台 [26003475]
商品詳細
特徴
■特徴
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■用途
広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
クライオポンプ排気系のバックポンプ
メカニカルブースターポンプのバックポンプ
ロードロック室排気
吸着搬送、ハンドリング
レーザーガス循環・排気用
真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
■仕様
異電圧対応可(お問い合せください)
■注意点
腐食性ガス・有機溶剤・液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。
また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。
屋内専用のポンプです。
雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。
仕様
重量 | 26.000KG | 入数 | 1台 |
原産国 | 日本 |
DAU100
アルバック機工 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1台
【在庫数について】
商品ページに表示されている在庫数は通販サイト上の在庫数となります。各店舗の在庫数とは異なりますのでご注意ください。